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□ 1次電源 |
φ3 AC200V / 50Hz 約100A |
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□ 1次空圧 |
0.6MPa ドライエアー 接続口
10A
駆動用 : 約20NL / min 乾燥用 : 約800NL / min |
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□ 1次純水源 |
0.2MPa 約20NL / min 接続口
20A |
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□ 排気 |
排気量 約12m3
/ min 接続口 125A |
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□ 排水 |
接続口 25A |
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□ 制御方式 |
シーケンサ(三菱製) |
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□ 主操作パネル |
タッチパネル(三菱製 A975GOT) |
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□ 表示灯 |
3色シグナルタワー(赤 黄 緑) |
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◇供給側ストッカー(スト ック量：最大３個) |
人手により倒立供給されたカセットは、モーター駆動によるコンベアにて供給ローダーハンド位置まで移動します。 |
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◇洗浄部 |
洗浄方法は、55℃以下(設定45℃)の加温純水を0.6MPa以下にて内外周、上下面を洗浄します。 |
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◇乾燥部 |
室温は、シーズヒータにて加温し25℃〜60℃にて制御可能。
(設定60℃) |
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◇移載部 |
ダブルハンドは、一方を洗浄室⇔乾燥室往復とし、一方を乾燥室⇔排出ストッカー往復とします。 |
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◇排出側ストッカー(ストック量 :
最大３個) |
倒立排出されたカセットは、モーター駆動によるコンベアにてコンベアエンド位置まで移動します。 |
